Günümüzde ince film transistörler geniş bir uygulama alanına sahiptir. LCD (sıvı kristal ekran), OLED (organik ışık yayan diyot), AMOLED (aktif matrisli OLED) ekran teknolojisi, esnek elektronik cihazlar, güneş panelleri, sensörler, ve medikal cihazlar gibi birçok farklı alanda kullanılmaktadır. Elektronik endüstrisinde bu kadar önemli yere sahip olan ince film transistörler farklı malzeme tabanlarında farklı çeşitlerde üretilebilmekte ve üretilen her bir yapı farklı özellik, performans ve uygulama alanına sahip olabilmektedir. Bu yapılardan biri de Hidrojene edilmiş amorf silikon tabanlı ince film transistörlerdir. Bu yapılar; yüksek performans, düşük güç tüketimi, yüksek entegrasyon ve küçük boyutlar gibi avantajlarıyla elektronik endüstrisinde önemli bir rol oynamaktadır. Esneklik, düşük maliyet ve enerji verimliliği gibi avantajları nedeniyle endüstride büyük ilgi görmektedir. Tez çalışmamda; OLED ekranlarda kullanılmak üzere, hidrojene edilmiş amorf silikon tabanlı ince film transistör piksel üretimi ve elektriksel karakterizasyonu gerçekleştirilmiştir ve TÜBİTAK MAM bünyesinde bulunan temizoda laboratuvarı kullanılmıştır. Üretilen ince film transistörde; gate (kapı), source (kaynak) ve drain (savak) elektrotlarının bulunduğu katmanlar için krom, geçit dielektrik katmanı için a-SiNx,(amorf silikon nitrit) aktif katman için i-a-Si:H (katkısız hidrojene edilmiş amorf silikon) ve n+ a-Si:H (n tipi hidrojene edilmiş amorf silikon) kullanılmıştır. Katman kalınlıklarının aygıt performansını etkileyeceği bilindiğinden, farklı aktif katman kalınlıklarında transistörler üretilmiş olup ilgili I-V (akım-voltaj) ölçümleri yapılmıştır. Böylelikle üretim için kalınlık optimizasyonu sağlanmıştır. Aynı zamanda mobilite hesaplamaları yapılmış olup, ürettiğimiz transistörler içindeki en iyi mobilite sonucu 0.018 cm2/V.s olarak hesaplanmıştır. Ek olarak tasarımımızda bulunan OLED devrelerin aydınlatma testleri yapılmış olup tüm yapılarda olumlu sonuçlar alınmıştır. ORCID NO: 0009-0009-6515-3802
Anahtar Kelimeler: İnce Film Transistörler, Amorf Silikon, OLED, Mobilite
|
